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隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，環(huán)境污染問題日益突出，各種類型的環(huán)境污染層出不窮，嚴(yán)重危及了人類的健康與生存。為了人類自身的安危，治理環(huán)境問題迫在眉睫。近年，涌現(xiàn)出許多治理環(huán)境問題的*，如超聲波、光催化氧化、低溫等離子體、反滲透等，其中低溫等離子體作為一種、低能耗、處理量大、操作簡單的環(huán)保新技術(shù)來處理有毒廢氣及難降解物質(zhì)，是近來研究的熱點(diǎn)。 

    低溫等離子體技術(shù)應(yīng)用范圍廣，氣體的流速和濃度對(duì)于氣態(tài)污染物治理技術(shù)應(yīng)用來說是兩個(gè)非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術(shù)能應(yīng)用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限；電子束照射技術(shù)僅有一非常窄的氣體流速范圍。而低溫等離子體技術(shù)對(duì)氣體的流速和濃度都有一個(gè)很寬的應(yīng)用范圍，其應(yīng)用廣泛不言而喻。等離子體技術(shù)工藝簡單，吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時(shí)還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；聯(lián)合催化法中，催化劑存在選擇性，某些條件(如溫度過高)會(huì)造成催化劑失活，光催化法只能利用紫外光等；生物法要嚴(yán)格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術(shù)則較好的克服了以上技術(shù)的不足，反應(yīng)條件為常溫常壓，反應(yīng)器結(jié)構(gòu)簡單，并可同時(shí)消除混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會(huì)產(chǎn)生二次污染等。就經(jīng)濟(jì)可行性來說，低溫等離子體反應(yīng)裝置本身系統(tǒng)構(gòu)成就單一緊湊，在運(yùn)行費(fèi)用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應(yīng)體系就得以保持低溫，所以不僅能量利用率高，而且使設(shè)備維護(hù)費(fèi)用也很低。

    低溫等離子體技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢(shì)顯著。其基本原理是在電場(chǎng)的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子平均能量超過目標(biāo)治理物分子化學(xué)鍵能時(shí)，分子鍵斷裂，達(dá)到消除氣態(tài)污染物的目的。1980年代，日本東京大學(xué)S．Masuda教授提出的高壓脈沖電暈放電法是常溫常壓下得到低溫等離子體的zui簡單、zui有效的方法。它已成為目前的研究前沿，也正越來越多的用于氣態(tài)污染物的治理。