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行業(yè)產(chǎn)品

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昆山瑞塞奇精密儀器有限公司


S-3400N掃描電子顯微鏡

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更新時(shí)間：2024-05-04 13:54:48瀏覽次數(shù)：214次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

相關(guān)參數(shù)： 項(xiàng)目 描述 SE分辨率 3.0nm (30kV)，高真空模式 / 10nm (3kV),高真空模式 BSE分辨率 4.0nm (30kV)，低真空模式 放大…

詳細(xì)介紹

相關(guān)參數(shù)：


項(xiàng)目 描述
SE分辨率 3.0nm (30kV)，高真空模式  / 10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率 4.0nm (30kV)，低真空模式
放大倍率 x5 ~ x300,000
加速電壓 0.3 ~ 30 kV
低真空范圍 6 ~ 270 Pa
樣品尺寸 直徑200mm
樣品臺(tái) I型                                     II型
X 0 ~ 80mm                          0 ~ 100mm
Y  0 ~ 40mm                          0 ~ 50mm
Z 5 ~ 35mm                          5 ~ 65mm
R 360o                                  360o
T -20o~ +90o                        -20o ~ +90o
T -20o~ +90o                        -20o ~ +90o
樣品高度 35mm (WD=10mm)           80mm (WD=10mm)
驅(qū)動(dòng)類(lèi)型 手動(dòng)                                  五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
燈絲 預(yù)對(duì)中鎢燈絲
物鏡光欄 可移動(dòng)式4孔物鏡光欄
槍偏壓  固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏
檢測(cè)器 二次電子檢測(cè)器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
分析位置 WD=10mm, TOA=35o
控制 鼠標(biāo)、鍵盤(pán)，手動(dòng)旋鈕
自動(dòng)調(diào)校 自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦  消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度 


詳細(xì)說(shuō)明


1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能，包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、
   自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度等。
2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái)，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉(cāng)可以同時(shí)安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效

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