低溫真空冷凍干燥機即真空冷凍干燥的原理是基于水的三相圖，在水的三相點壓力（610.5pa)以下，沒有液態(tài)的水存在，固態(tài)的冰可以直接升華水蒸氣，如果此時提供一定的熱量，冰即可吸收熱量升華為氣態(tài)，從而使物料脫水，