VT6000系列共聚焦大傾角粗糙度測量顯微鏡結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰