INFICON傳感器射頻傳感器INFICON射頻傳感技術(shù)能夠為半導(dǎo)體過程工具提供高度準(zhǔn)確、寬頻、頻率判別式射頻測量。通過此射頻數(shù)據(jù)，可以詳細(xì)了解過程開發(fā)和生產(chǎn)過程問題中的實際等離子狀態(tài)，大幅降低過程變異性。