簡(jiǎn)要描述：捕獲氣體真空泵在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，65%~95%是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但擴(kuò)散泵抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)