Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)

Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠為許多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達(dá) 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計，卻是一個完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動裝置。

Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)Mini ODS能夠拓展支持額外的獨(dú)立流程臭氧發(fā)生器，這些流程可需求不同濃度和不同流量的臭氧。該儀器操作和維護(hù)簡單，不需求消耗品或預(yù)防性維護(hù)。該系統(tǒng)也能與通常濕法工藝中需求的溶解臭氧監(jiān)分析儀交互。為了更加**，該系統(tǒng)也能與TAPI的多通道臭氧泄露探測儀和臭氧破壞器子系統(tǒng)聯(lián)鎖。

• 設(shè)計緊湊
• 生產(chǎn)濃度超過21% w/w的臭氧
  
• 19"機(jī)架固定或放置在桌面
  
• 價格低，無消耗品
  
• 整合的方案包括:
  
• 高純度臭氧發(fā)生器
• 高濃度臭氧分析儀
• 閉環(huán)伺服控制器
• 氧氣質(zhì)量流量控制器
• 氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器
• 背壓調(diào)節(jié)器
• 電氣轉(zhuǎn)移閥
• Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)規(guī)格
  

Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)應(yīng)用

半導(dǎo)體

• 化學(xué)氣相沉積 (CVD)
  
• 原子層沉積 (ALD)
  
• 氧化物生長
  
• 表面處理
  
• 顆粒清潔
  
• 光刻膠去除
  
• 灰化

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