超純水的整個工藝流程是先經(jīng)過預處理，然后經(jīng)過RO反滲透系統(tǒng)，再使用離子交換混床或者EDI設備制取超純水。 由于超純水對水質的BOD和TOC等物質的含量要求比較高，所以一般會采取二級反滲透，后面的工藝比則采取離子交換混床或者EDI的技術。
離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的，可去除水中的各種陰、陽離子，是目前制備高純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當原水通過離子交換柱時，水中的陽離子和水中的陰離子(HCO3-等離子)與交換柱中的陽樹脂的氫根離子和陰樹脂的氫氧根離子進行交換，從而達到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質達到更高的要求。
EDI作為制取超純水的設備，作為反滲透設備后的二次除鹽設備，可以制取出高達10-18.2MΩ.CM。EDI設備無需化學藥劑的再生，可以連續(xù)運行。在具體的應用中，僅調節(jié)EDI的運行電流就可以改變其出水水質。因此廣泛用于微電子工業(yè)，半導體工業(yè)，發(fā)電工業(yè)，制藥行業(yè)和實驗室。也可以作為制藥蒸餾水、食物和飲料生產(chǎn)用水、發(fā)電廠的鍋爐的補給水，以及其它應用超純水。
