凈化工程設(shè)計潔凈車間內(nèi)的空氣分配設(shè)備（通常是吊頂過濾器）被設(shè)計成“噴淋式”，用來提供統(tǒng)一的、潔凈的已過濾的空氣。向房間補給的空氣量，讓人想起與普通的淋浴噴頭相反的消防。美國聯(lián)邦標準209E、日本標準JIS B9920和ISO 標準14644-1的標題是：潔凈室外和相關(guān)控制環(huán)境——*部分：清潔空氣的分級。這些標準提供了潔凈室參數(shù)、分級和檢測方法的指導(dǎo)方針，但并未說明如何經(jīng)濟有效地達到要求。這是因為每種生產(chǎn)過程和潔凈室外的要求是不同的，因此，可以采用不同的再循環(huán)空氣量，達到預(yù)期的環(huán)境要求。
房間內(nèi)污染物的比率和實際微粒產(chǎn)生情況，是影響潔凈室空氣換氣次數(shù)的主要因素。在生產(chǎn)過程中，不對其他因素產(chǎn)生任何影響的情況下，清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影響再循環(huán)空氣數(shù)量的因素是：房間的結(jié)構(gòu)、設(shè)備的位置、設(shè)備表面溫度、空氣對流、氣流類型（單向通過敏感區(qū)或者通過全空間）、操作空間和規(guī)章、使用的材料和化學(xué)藥品等。
潔凈車間可能需要在靜態(tài)下進行鑒定，在工況下進行鑒定，對生產(chǎn)過程進行確認或者cGMP認證。由綜合服務(wù)管理部制定的聯(lián)邦標準209（e），建議100或90fpm。然而有可能建立一個空氣流動速度較低，但比100級潔凈度更高的潔凈室。實際上，已經(jīng)有潔凈室的空氣流動速度是45cfm/平方英尺。
新風處理空調(diào)箱[Make-up AHUs]。典型的新風處理空調(diào)箱（初級AHUs）為循環(huán)風空調(diào)箱（二級AHUs）提供必需的新風。新風由離心排風機、軸流或plug風機加上過濾器、預(yù)熱和再熱用熱水盤管、冷卻和除濕使用的冷凍水盤管、蒸汽和絕熱加濕器等組成。附件和差異包括靜電空氣混合器、蒸汽預(yù)熱盤管、超聲波加濕器、鹽水、除濕用的直接交換[Dx]或乙二醇低溫冷凍盤管、VOC吸附過濾器、噪聲衰減器，VFP（變頻）驅(qū)動等。
新風處理空調(diào)箱通道是將空氣注入集管，再通過支管系統(tǒng)給循環(huán)風空調(diào)箱提供新風。在初級和二級風管上進行空氣測量，并調(diào)節(jié)送風機、VFD或進口風閥以便恒定風量。Magnahelic講量器臨測安裝在各個空調(diào)箱內(nèi)HEPA過濾器布袋過濾器和預(yù)過濾器的荷載。有吊頂風機過濾器的情況下，新風處理空調(diào)箱出來的空氣進入循環(huán)風空調(diào)箱再送出。
循環(huán)風空調(diào)箱（Recirculation AHUs）。典型的循環(huán)風空調(diào)箱由高效離心式風機、過濾器和濕熱（干）冷盤管組成。附加和差異包括用于局部溫度控制的再熱盤管、用于局部濕度控制的蒸汽或超聲波加濕器、風量恒定控制箱。這種采用Whisper-Air and Compac Space 風機系統(tǒng)的方式提供了一種節(jié)約成本和充分使用能源的選擇。
多重循環(huán)風空調(diào)箱通過送風管，再經(jīng)過ULPA過濾器或HEPA過濾器，將空氣送入潔凈室，在潔凈度等級為10級和1級的潔凈間的吊頂上，這些過濾器通常是*覆蓋。垂直單向氣流向下通過潔凈間，穿過帶孔的架空地板磚進入地板下面的回風空間，再通過垂直回風夾道向上進入吊頂回風靜壓箱。然后 ，空氣再次進入循環(huán)風空調(diào)箱，以上的空氣循環(huán)再次重復(fù)。如果是使用吊頂風機過濾器，在風機過濾器上面的吊頂空間時，可以安裝水或直接交換冷卻風機盤管實現(xiàn)表面冷卻。
