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MF5000微型氣體質(zhì)量流量計(jì) MEMS流量傳感器

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更新時(shí)間:2024-10-08 07:08:05瀏覽次數(shù):222

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品概述:MF5000微型氣體質(zhì)量流量計(jì)MEMS流量傳感器芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年,開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量?jī)x表,主要技術(shù)性能處于國(guó)際嶺先水平,具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點(diǎn)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述:

MF5000微型氣體質(zhì)量流量計(jì) MEMS流量傳感器芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年,開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量?jī)x表,主要技術(shù)性能處于國(guó)際嶺先水平,具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點(diǎn);針對(duì)工業(yè)環(huán)境,融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì);且具有多種信號(hào)輸出,能通過通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能;本產(chǎn)品在性能、安裝和維護(hù)方面也具有其的性,可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。

MF5003微型氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn):

   - 采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長(zhǎng)技術(shù),傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí),使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。
 
 MF5006微型氣體質(zhì)量流量計(jì)在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使該流量計(jì)的量程比(范圍度)大大提高。
 
  MF5008微型氣體質(zhì)量流量計(jì)傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有極大的改善。
 
  MF50012微型氣體質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù),使流量計(jì)重復(fù)性好,實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。
 
 技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化,使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表,壓力損失大幅度減小,極大地降低了能源消耗。
 
 采用LCD顯示"瞬時(shí)流量""累計(jì)流量",清晰直觀,讀數(shù)方便。
 
 產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù),具有更高抗干擾能力。
 
 流量計(jì)帶有RS485通訊模塊,配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。
 
 可以選配420mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。

MF50019微型氣體質(zhì)量流量計(jì)機(jī)械尺寸:

型號(hào)

通徑
 
mm

接口
 
inch

L

H

W

d

a

b

c

MF5003

3

1/8"

85

124

35

Φ3

25

16

50

MF5006

6

1/4"

95

127

35

Φ6

25

18

50

MF5008

8

3/8"

105

134

35

Φ8

25

22

50

MF5012

12

1/2"

116

137

40

Φ12

30

25

50

MF5019

19

3/4"

152

149

40

Φ19

30

40

70

技術(shù)參數(shù):

精度           ±(1.5+0.2FS)% 
測(cè)量范圍        0.01~65m/sec  
測(cè)量管徑        1~19 mm     
使用環(huán)境         溫度: -20~65
               瞬時(shí)流量; 累計(jì)流量                   
輸出模式        4~20mA; RS485; 脈沖
校準(zhǔn)條件        20oC; 101.325 kPa.

產(chǎn)品選型:

型號(hào)

通徑
  (mm)

接口
  (inch)

 大工作壓力
  (MPa)

測(cè)量范圍

sccm

SLPM

SCFM

NCMH

MF5003

3

1/8"

1.5

15-1500

0.15-15



MF5006

6

1/4"

1.5


0.5-50

0.02-2

0.035-3.5

MF5008

8

3/8"

1.5


1.2-120

0.045-4.5

0.075-7.5

MF5012

12

1/2"

1.5


3-300

0.1-10

0.17-17

MF5019

19

3/4"

1.5


8-800

0.28-28

0.48-48

 

 

 

 


產(chǎn)品概述:

MF5000微型氣體質(zhì)量流量計(jì) MEMS流量傳感器芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年,開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量?jī)x表,主要技術(shù)性能處于國(guó)際嶺先水平,具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點(diǎn);針對(duì)工業(yè)環(huán)境,融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì);且具有多種信號(hào)輸出,能通過通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能;本產(chǎn)品在性能、安裝和維護(hù)方面也具有其的性,可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。

MF5003微型氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn):

   - 采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長(zhǎng)技術(shù),傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí),使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。
 
 MF5006微型氣體質(zhì)量流量計(jì)在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使該流量計(jì)的量程比(范圍度)大大提高。
 
  MF5008微型氣體質(zhì)量流量計(jì)傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有極大的改善。
 
  MF50012微型氣體質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù),使流量計(jì)重復(fù)性好,實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。
 
 技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化,使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表,壓力損失大幅度減小,極大地降低了能源消耗。
 
 采用LCD顯示"瞬時(shí)流量""累計(jì)流量",清晰直觀,讀數(shù)方便。
 
 產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù),具有更高抗干擾能力。
 
 流量計(jì)帶有RS485通訊模塊,配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。
 
 可以選配420mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。

MF50019微型氣體質(zhì)量流量計(jì)機(jī)械尺寸:

型號(hào)

通徑
 
mm

接口
 
inch

L

H

W

d

a

b

c

MF5003

3

1/8"

85

124

35

Φ3

25

16

50

MF5006

6

1/4"

95

127

35

Φ6

25

18

50

MF5008

8

3/8"

105

134

35

Φ8

25

22

50

MF5012

12

1/2"

116

137

40

Φ12

30

25

50

MF5019

19

3/4"

152

149

40

Φ19

30

40

70

技術(shù)參數(shù):

精度           ±(1.5+0.2FS)% 
測(cè)量范圍        0.01~65m/sec  
測(cè)量管徑        1~19 mm     
使用環(huán)境         溫度: -20~65
               瞬時(shí)流量; 累計(jì)流量                   
輸出模式        4~20mA; RS485; 脈沖
校準(zhǔn)條件        20oC; 101.325 kPa.

產(chǎn)品選型:

型號(hào)

通徑
  (mm)

接口
  (inch)

 大工作壓力
  (MPa)

測(cè)量范圍

sccm

SLPM

SCFM

NCMH

MF5003

3

1/8"

1.5

15-1500

0.15-15



MF5006

6

1/4"

1.5


0.5-50

0.02-2

0.035-3.5

MF5008

8

3/8"

1.5


1.2-120

0.045-4.5

0.075-7.5

MF5012

12

1/2"

1.5


3-300

0.1-10

0.17-17

MF5019

19

3/4"

1.5


8-800

0.28-28

0.48-48

 

 

 

 


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