OLYMPUS LEXT  OLS4500 納米檢測顯微鏡

品牌：奧林巴斯

型號：OLS4500

■產品介紹

OLYMPUS LEXT OLS4500是結合了傳統(tǒng)光學顯微鏡、激光掃描顯微鏡（LSM）以及探針掃描顯微鏡（SPM）功能的一體機。LEXT OLS4500可以滿足不同樣品的觀測需求，是一臺新時代的觀察、測量裝置。

LEXT OLS4500可以輕松實現從毫米到納米的觀察和測量，放大倍率由幾十倍到高達百萬倍。找到觀測目標（觀察對象）后，您可以在光學顯微鏡模式、激光顯微鏡模式和探針顯微鏡模式之間自由切換，而不用擔心目標丟失。并且您可以使用探針顯微鏡迅速而正確的完成觀察，大大縮短了獲取影像的時間。這些便是OLS4500一體機的自由操作帶給您的益處。更加方便、更加順利地完成超大范圍觀察和測量。實現了自由切換操作的LEXT OLS4500。

光學顯微鏡是從樣品上方照射可見光（波長約400 nm到800 nm）， 利用其反射光成像， 能夠放大樣品數十倍到一千倍左右進行觀察。光學顯微鏡的特長是可以真實觀察彩色樣品， 還可以切換觀察方法， 強調樣品表面的凹凸， 利用物質的特性（偏光性）進行觀察。OLS4500上可以使用：明視場觀察，微分干涉觀察，簡易偏振光觀察。

LEXT OLS4500采用405 nm的短波長半導體激光、高數值孔徑的物鏡、以及*的共焦光學系統(tǒng)，可以達到0.12 μm的平面分辨率。此外，OLS4500配有奧林巴斯*的掃描加掃描型2D掃描儀，可以實現高達4096×4096像素的高精度XY掃描。

OLS4500上采用了光杠桿法——通過高靈敏度檢測出zui前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量（位移）來進行觀測的方法。在懸臂的背面反射激光，并用壓電元件驅動Z軸，使激光照射到光電檢測器的位置，從而正確讀取Z方向的微小位移。OLS4500配有：接觸模式，動態(tài)模式，相位模式，電流模式，表面電位模式（KFM），磁力模式（MFM）。

■應用

LEXT OLS4500可用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D 表面形貌、

2D 的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

? 精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結構有要求的零部件；

? 生命科學

? 微電子機械系統(tǒng)：微型器件的檢測，醫(yī)藥工程中組織結構的檢測，如基因芯片等

? 半導體：檢測微型電子系統(tǒng)，封裝及輔助產品結構設計

? 太陽能：太陽能電池片柵線的3D 形貌表征、高寬比測量，制絨后3D 形貌表征（單

晶金字塔大小、數量、角度，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析等

? 紙張：紙張、錢幣表面三維形貌測量

? LED行業(yè)

■技術參數

LSM部分

光源：白光LED，405nm半導體激光

檢出系統(tǒng)：光電倍增管

分辨率：移動分辨率10nm，顯示分辨率1nm

物鏡轉換器：6孔電動物鏡轉換器

物鏡：100x，50x，20x等（可選）

變焦：光學變焦：1～8X，數碼變焦：1～8X

SPM部分

光源：659nm半導體激光

檢出設備：光電檢測器

zui大掃描范圍：X/Y 方向，30μm x 30μm， Z 方向：4.6μm，

微懸臂規(guī)格：根據用途不同微懸臂有不同型號、類型

工作電源：100-240V, 50-60Hz,

總重量：約440KG

設備咨詢:

Ronnie Chen  +86-21-    +86-21-61533166  ronniechen@nanofocus.com.cn